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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本YUTAKA壓力控制設(shè)備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12VL12系列是一款按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的1.125英寸壓力調(diào)節(jié)器。 與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。 還提供高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類型。
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日本YUTAKA壓力控制設(shè)備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12V 特點(diǎn)介紹
L12系列是一款按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計的1.125英寸壓力調(diào)節(jié)器。
與集成供氣系統(tǒng)的 1.125 英寸和 1.5 英寸 W 密封件和 C 密封件兼容。
還提供高流量和真空規(guī)格以及面密封接頭類型。
1打開了氣瓶的燈頭閥的狀態(tài)2使壓力手柄向右旋轉(zhuǎn),氣體流入的狀態(tài)3隔膜受到壓力而向上返回閥關(guān)閉的狀態(tài)4出口閥打開使氣體流動時,隔膜再次向下變形,閥打開,氣體流動狀態(tài)5關(guān)閉出口閥,成為3的狀態(tài),以2設(shè)定的調(diào)整壓力停止。
日本YUTAKA壓力控制設(shè)備焊接金屬頭L12系列 L12/L12H/L12V 規(guī)格參數(shù)
入口壓力 最大0.99MPa
調(diào)節(jié)壓力(L12/L12H) Max.0.7MPa
(范圍規(guī)格0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.7MPa)
調(diào)節(jié)壓力(L12V) 量程規(guī)格 -0.08~0.1MPa、-0.08~0.2MPa
承受壓力 1.5MPa(入口側(cè))
CV值 0.1
工作溫度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/sec·He(真空法)
大量的 約270g(1.125" SEMI規(guī)格)
1,結(jié)構(gòu)和主要部件名稱2,工作原理3,壓力調(diào)節(jié)器力平衡式4,一級式壓力調(diào)整器原壓變動性能5,兩級式壓力調(diào)整器原壓變動性能6,調(diào)節(jié)器流量基本特性7,相對于入口出口壓力的壓力計的選定
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