日本YUTAKA焊接壓力調(diào)節(jié)器減壓閥U31系列 U31SS/U31SV/U31VH 特點(diǎn)介紹

超高純度半導(dǎo)體制造工藝用精密壓力調(diào)節(jié)器

功能金屬墊片配件焊接規(guī)范調(diào)節(jié)閥結(jié)構(gòu)平密封式散裝氣體兼容氣體氣體以外的氣體標(biāo)準(zhǔn)流量100～500NL/分鐘

日本YUTAKA焊接壓力調(diào)節(jié)器減壓閥U31系列 U31SS/U31SV/U31VH 規(guī)格參數(shù)

入口壓力 6MPa以下 

調(diào)節(jié)壓力 Max.0.99MPa（范圍規(guī)格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

氣源壓力波動(dòng) 入口壓力：每0.1MPa，調(diào)節(jié)壓力變化量0.00086MPa 

承受壓力 一次側(cè)9MPa 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 約1.4公斤 

e-flow 高純度氣體壓力調(diào)節(jié)器旨在用于半導(dǎo)體工廠(chǎng)，是一種提高純度并最大限度地減少外部泄漏、顆粒和死區(qū)的產(chǎn)品。

它用于多種氣體，包括半導(dǎo)體工廠(chǎng)設(shè)施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設(shè)備制造商的集成單元。
該產(chǎn)品具有優(yōu)良的氣密性，非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性的輸送。

L系列：對(duì)焊接頭、外密封金屬結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。
R系列：閥體旋入式（NPT）規(guī)格、外部軟密封結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。焊接規(guī)范為承插焊。
D系列：將L、R系列與壓力控制部分組合而成的先導(dǎo)結(jié)構(gòu)電子控制壓力調(diào)節(jié)器。
U系列：特殊規(guī)格有機(jī)加工主體、對(duì)焊規(guī)格，外部密封采用金屬密封結(jié)構(gòu)。