日本日酸TANAKA半導(dǎo)體高壓壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF 特點(diǎn)介紹

●TORR系列是憑借長(zhǎng)期的業(yè)績(jī)獲得高度信賴(lài)的“半導(dǎo)體氣體用壓力調(diào)整器的代名詞"的壓力調(diào)整器。

●組裝全部在0.3μm級(jí)1000的潔凈室進(jìn)行。

●在一次室的流路內(nèi)置過(guò)濾器，減少了內(nèi)部泄漏的發(fā)生。

●包括泄漏測(cè)試在內(nèi)的全部出貨檢驗(yàn)。

●TORR-2500系列作為一次高壓用大流量機(jī)型，用于比TORR-2300流量要求更高的氣體供給設(shè)備等。

●由于沒(méi)有內(nèi)置過(guò)濾器，請(qǐng)?jiān)谂涔苌鲜┕み^(guò)濾器。

日本日酸TANAKA半導(dǎo)體高壓壓力調(diào)節(jié)器減壓閥 TANAKA日酸 TORR-2500-4W-B515-6VF6VF 規(guī)格參數(shù)

●性能入口側(cè)最高使用壓:出口側(cè)最高使用壓:最大流量:使用溫度:重量:內(nèi)置過(guò)濾器過(guò)濾過(guò)度:出入口口徑:外部泄漏量:15MPa1.0MPa 180m3/h（無(wú)）（P1=8MPa、P2=1.0MPa、N2 GAS）-5～40°C4.9kg過(guò)濾器未裝入，請(qǐng)另行設(shè)置。3/8"1.3×10-6Pa m3/sec以下

●使用材質(zhì)接觸氣體部主體:隔膜:壓力表:接頭:其他接觸氣體部:非接觸氣體部蓋:調(diào)壓手柄:SUS316L、SUS316、氟樹(shù)脂C3604S45C