日本mirapro復(fù)合真空計(jì)Tough發(fā)射器型LED屏 TG301CD 特點(diǎn)介紹

真空計(jì)可以通過放置在被測(cè)物體內(nèi)部進(jìn)行精確測(cè)量，但根據(jù)污染源的不同，測(cè)量精度可能會(huì)下降，從而導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)誤差。影響正確的判斷和控制。

污染源是從測(cè)量對(duì)象物發(fā)出的物質(zhì)以及從用于控制和測(cè)量的傳感器和配線發(fā)出的氣體，并且由于這種污染而附著在真空計(jì)上，導(dǎo)致精度下降。

在塑料表面進(jìn)行氣相沉積時(shí)，由于增塑劑的蒸發(fā)等，會(huì)發(fā)生污染。真空設(shè)備內(nèi)部的配線、電機(jī)、密封材料等產(chǎn)生有機(jī)污染氣體而造成的污染。在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，有機(jī)金屬原料氣體和抗蝕劑殘留，成為污染源。

這些污染物會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。

由柵極污染引起的問題包括由于發(fā)射功率增加而導(dǎo)致的靈敏度降低、發(fā)射停止和燈絲斷裂。

日本mirapro復(fù)合真空計(jì)Tough發(fā)射器型LED屏 TG301CD 規(guī)格參數(shù)

復(fù)合真空計(jì)硬度計(jì)是組合BA電離真空計(jì)和皮拉尼真空計(jì)的復(fù)合型真空計(jì)。通過1根自動(dòng)切換從大氣到超高真空的寬范圍的同時(shí)進(jìn)行測(cè)量。皮拉尼真空計(jì)內(nèi)置溫度計(jì)，進(jìn)行溫度修正，減少因溫度變化引起的誤差。此外，皮拉尼真空計(jì)使用耐腐蝕性材料，在高真空下，BA電離真空計(jì)在加熱柵格及集電極的同時(shí)以硬模式工作，因此即使在污染環(huán)境下也不易發(fā)生靈敏度降低，可長時(shí)間高精度地進(jìn)行測(cè)量。