日本toko-valex毒性流體及真空控制的調(diào)節(jié)閥 T-8115 特點介紹

采用包含外壓式膜盒的結構，與一般的軸封結構相比，密封性能更高，是一款能夠有效毒性流體及真空服務的調(diào)節(jié)閥。

從手機到電腦、汽車，半導體是現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的主角之一。

在半導體行業(yè)中，是以單晶硅制造成套設備及日光發(fā)電晶圓制造成套設備、蝕刻及清洗用氣體制造成套設備、超純水設備為核心，運用我公司產(chǎn)品。

尤其是蝕刻及清潔用氣體，由于包含毒性流體，所以大量采用了帶有膜盒的控制閥。

日本toko-valex毒性流體及真空控制的調(diào)節(jié)閥 T-8115 規(guī)格參數(shù)

型號T-8115 

型號帶全夾套單座膜盒調(diào)節(jié)閥 

額定壓力JIS　10K～63K、ASME/ANSI　150～1500 

連接法蘭型 RF 

公稱直徑（A）15～300 

主體材料0.01～1440（開閉：0.4～1600） 

主體材料SCPH2、SCS13A、SCS14A 

內(nèi)件材料SUS316、SUS630 

膜盒材料SUS316 

填料材料PTFE-V 填料、彈性石墨 

墊圈材料PTFE、膨脹石墨 

流量特性等百分比（范圍度 50:1）、線性、快速打開（開閉） 

可配備的驅動部分隔膜電機：T-5系列、空氣式氣缸、電子式：MSP/PSN系列、電動式：CMS系列 

選配件范圍度 100:1

蒸汽套、特殊填料 

內(nèi)件材料：SUS304L、SUS316L

內(nèi)件形狀：PTFE盤 

內(nèi)件附加處理：鎢鉻鈷合金硬化處理

連接：插入焊接、對焊、其他特殊接頭