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MTI氣氛控制真空箱式爐耐高溫帶貫穿法蘭 VBF-1200X-H8VBF-1200X-H8 是一款 緊湊型 真空爐。它配備了一個水平放置的 7.5 英寸 ID x 13.4 英寸長的石英管腔。安裝了帶閥門的水冷不銹鋼真空法蘭,通過渦輪泵實現(xiàn)高達(dá) 10 -5 Torr 的真空。它專為在真空或各種其他氣體環(huán)境下煅燒或退火半導(dǎo)體晶片(最大 6 英寸)而設(shè)計,溫度高達(dá) 1100°C。
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MTI氣氛控制真空箱式爐耐高溫帶貫穿法蘭 VBF-1200X-H8 特點(diǎn)介紹
VBF-1200X-H8 是一款 緊湊型 真空爐。它配備了一個水平放置的 7.5 英寸 ID x 13.4 英寸長的石英管腔。
安裝了帶閥門的水冷不銹鋼真空法蘭,通過渦輪泵實現(xiàn)高達(dá) 10 -5 Torr 的真空。
它專為在真空或各種其他氣體環(huán)境下煅燒或退火半導(dǎo)體晶片(最大 6 英寸)而設(shè)計,溫度高達(dá) 1100°C。它也可以用作真空釬焊爐。
MTI氣氛控制真空箱式爐耐高溫帶貫穿法蘭 VBF-1200X-H8 規(guī)格參數(shù)
電壓:單相 208 - 240 VAC / 50/60Hz,(安裝 20 A 斷路器)
最大 3 千瓦。
注意:包含電源線但不包含插頭。請自行安裝插頭,或點(diǎn)擊圖片下方的鏈接根據(jù)您所在國家或?qū)嶒炇业囊筮x擇插頭
工作溫度 <= 1000 °C 持續(xù)
最高 1100 °C,< 30 分鐘
溫度均勻性: +/- 2 ° C
加熱速率 最大20 ℃ /分鐘
建議。10 ℃ /分鐘
加熱元件 高品質(zhì)鎳鉻鋁電阻絲
石英管和 有效加熱
管尺寸: 8 英寸外徑 x 7.5 英寸內(nèi)徑 x 13.4 英寸長。
加熱區(qū)(石英管內(nèi)):7.5 英寸內(nèi)徑 x 8.5 英寸深(7.6 升)
均勻溫度區(qū):中心位置直徑 6 英寸 x 深度 3.5 英寸,溫度變化范圍為 +/- 5oC
石英管可更換
真空法蘭
不銹鋼水冷法蘭組件,帶兩個快速連接端口。所有密封件均由硅膠 O 形圈提供。
通過 1/4 英寸外徑鉆孔氧化鋁管實現(xiàn)快速連接端口的多功能。
郵箱:akiyama_zhou@163.com
傳真:
地址:廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號和健云谷2棟10層1002