日本vaclab霧化顆粒AG-NEG泵高抽速無粉塵 GNEG070-10 ICF70系列 特點介紹

由于NEG粉末是采用非接觸霧化方法制造的，因此它是真正的球形/高純度。

由于僅將粗顆粒粉末放入細絲網容器中并在不凝固的情況下進行操作，因此抽速高、穩(wěn)定且無粉塵。

■粉粒形狀為真球形

■無塵

■自氣體釋放量低（XHV用）

■CO抽速高

■ZrVFe三元合金粉末

■通過圓盤數量調節(jié)抽速（100至500 L/s） ■

通過延長盤間距離分配泵*2

■護套加熱器和熱電偶可自由裝卸（大氣側）

■自由安裝方向

■無振動、無帶電粒子、無電力（運行時）

日本vaclab霧化顆粒AG-NEG泵高抽速無粉塵 GNEG070-10 ICF70系列 規(guī)格參數

■霧化顆粒非蒸發(fā)吸氣劑（AG-NEG）泵是一種新型NEG粉末，采用新技術非接觸霧化方法制造，無需壓縮和固化粉末即可作為粉末（顆粒）使用。非蒸發(fā)吸氣劑 (NEG) 泵。NEG 粉末是球形，具有極其穩(wěn)定的表面，可實現高抽速和高度可靠的抽吸特性。粉末表面光滑穩(wěn)定，因此再抽真空時從表面層釋放的自體氣體極少，非常適合UHV/XHV發(fā)電。由于我們使用的顆粒狀NEG粉末比較大，粒徑為100~200μm，因此可以薄薄地密封在鋪有細絲網的圓盤形傳熱容器中，無需擔心NEG的影響。粉末飛散。另外，NEG粉末是通過中央加熱器管（常壓側）的傳導加熱來活化的，因此活化過程中散發(fā)的輻射熱也很少。