日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計(jì) IMP&G 機(jī)頭：ICF070  特點(diǎn)介紹

1.與NEG泵組合使用逆磁控管型離子泵（單電池）

2.用于排出殘留的氮?dú)夂图淄榈谋?/span>

3.10-10也可以用到Pa為止冷陰極真空計(jì)

4.僅密封NEG即可達(dá)到的真空為10-8Pa，通過追加本機(jī)可達(dá)到10-10Pa臺(tái)可到達(dá)

5.即使在真空區(qū)域也能可靠地啟動(dòng)放電（帶啟動(dòng)按鈕）

6.NEG泵激活時(shí)可動(dòng)作

7.SUS制、BeCu合金制

日本vaclab反向磁控管式NEG支撐泵真空計(jì) IMP&G 機(jī)頭：ICF070  規(guī)格參數(shù)

形式:IM P&G電極:圓筒陰極（Ta），螺旋陽(yáng)極（W）排氣速度:1L/s（Ar），4L/s（CH4）適用NEG泵:50～2000L（H2）/s真空測(cè)量范圍:10-10Pa～10-3Pa泵殼體:SUS316L或0.2%BeCu釹磁鐵:4kG，烘烤溫度（80°C）薩馬科瓦磁鐵:3.8kG，烘烤溫度（280°C）電子沖擊加熱功率:1000V×100mA施加電壓:5kV，100μA安裝法蘭:ICF070（Cu襯墊）頭重量:2.8kg

■倒置磁控管型NEG輔助泵IMP&G是一種離子泵，當(dāng)NEG泵抽真空至超高/超高真空時(shí)，可排出剩余的氬氣和甲烷。也可用作高精度冷陰極型真空計(jì)，可測(cè)量高達(dá) 1×10 -10 Pa的壓力。

■我們成功地為倒置磁控管型冷陰極真空計(jì)增加了排氣功能。傳統(tǒng)的倒磁控管型冷陰極真空計(jì)幾乎沒有抽真空作用，并且從未有過將倒磁控管型單元用作離子泵的泵單元的例子。之所以沒有排氣效應(yīng)，是因?yàn)榻M成陰極的電極表面是氧化層。我們通過在真空中將陰極（Ta）加熱到1000℃以上，成功地產(chǎn)生了排氣效果。通過加熱，電極表面的氧化物被去除，稀有氣體離子通過捕獲（捕獲）被排出，這是在構(gòu)成陰極的金屬之間捕獲離子的作用。