TESCOM美國不銹鋼減壓閥調(diào)壓器半導(dǎo)體制造用 64-5400系列 特點介紹

TESCOM 64-5400 系列高純度減壓穩(wěn)壓器采用 316 不銹鋼電拋光、10 Ra 表面處理和 Hastelloy ® 隔膜設(shè)計。

64-54100 系列流量 Cv = 1.0，進口壓力為 600 psi/41.4 bar，出口壓力最高為 150 psi/10.3 bar。

應(yīng)用領(lǐng)域

· 大宗特種氣體系統(tǒng)（BSGS）

· 1/2"使用點· 工具連接

· 氣體柜特點和優(yōu)勢

· 緊湊、手裝和減壓

· 內(nèi)部體積小

· 金屬對金屬隔膜密封，密封性好

TESCOM美國不銹鋼減壓閥調(diào)壓器半導(dǎo)體制造用 64-5400系列 規(guī)格參數(shù)

最大進口壓力600 psi/41.4 bar出口壓力范圍30,60,100,150 psi 2.1,4.1,6.9,10.3 bar設(shè)計驗證壓力最大額定值的150%內(nèi)置泄漏率<1 x 10-9 atm cc/sec He工作溫度PTFE座:-40°F到140°F/ -40°C到60°C特氟隆® PFA座:-40°到160°F/ - 40°C到71°C流體容量Cv=1.0衰減進口特性2.7每100 psi/0.19每6.9 bar