Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學(xué)品高精度測(cè)量 Entegris 4100/4150型 特點(diǎn)介紹

4100型

無(wú)論您是為了自動(dòng)化、過(guò)程控制還是安全而測(cè)量壓力，您的測(cè)量都必須干凈、準(zhǔn)確且可靠。

為了滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)的需求，Entegris 將最新的電子傳感器技術(shù)與高度清潔的材料相結(jié)合，生產(chǎn)出能夠?qū)に囎兓M(jìn)行高度控制的先進(jìn)產(chǎn)品。

在高純度應(yīng)用中可靠測(cè)量腐蝕性化學(xué)品和 CMP 漿料中的壓力

所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)功能測(cè)試，精度為滿(mǎn)量程的 1%

無(wú)活動(dòng)部件，減少顆粒產(chǎn)生

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應(yīng)用

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)并且易于安裝。

4150型

可用于氫氟酸和負(fù)壓

使用耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石壓力傳感器準(zhǔn)確可靠地測(cè)量惰性氣體真空

監(jiān)控過(guò)程條件可提高安全性和系統(tǒng)性能

所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過(guò)功能測(cè)試，精度為滿(mǎn)量程的 1%

可連接電子顯示/監(jiān)控系統(tǒng)

無(wú)移動(dòng)部件，無(wú)填充液，消除了污染的可能性

非金屬傳感器技術(shù)可實(shí)現(xiàn)可靠的測(cè)量

接液部件為 PTFE、藍(lán)寶石和 Kalrez®，適用于高純度應(yīng)用

緊湊的設(shè)計(jì)使安裝變得容易

行業(yè)標(biāo)準(zhǔn) Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計(jì)并且易于安裝。

Entegris壓力傳感器耐腐蝕化學(xué)品高精度測(cè)量 Entegris 4100/4150型 規(guī)格參數(shù)