美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 特點介紹

4210型

壓力 無論您的目的是自動化、過程控制還是安全，您的測量都必須干凈、準確且可靠。為了滿足半導(dǎo)體行業(yè)的需求，

Entegris 將最新的電子傳感器技術(shù)與高度清潔的材料相結(jié)合，生產(chǎn)出能夠?qū)に囎兓M行高度控制的先進產(chǎn)品。

在高純度應(yīng)用中可靠測量腐蝕性化學品和 CMP 漿料中的壓力

所有裝置在發(fā)貨前均經(jīng)過功能測試，精度為滿量程的 1%

沒有活動部件，也沒有填充液，因此不會受到污染

4210 型采用流通式設(shè)計，可減少死體積并降低污染風險

接液部件采用 PTFE、PFA、CTFE 和 Kalrez®，適用于高純度應(yīng)用

行業(yè)標準 Flaretek® 連接減少了池化和占地面積。它還允許靈活的系統(tǒng)設(shè)計并且易于安裝。

4250型

NT™ 壓力傳感器配有耐化學腐蝕的藍寶石傳感器，可測量負壓和正壓。

該傳感器沒有填充液或隔膜，在其他非金屬傳感器無法處理的情況下具有高度可靠性，精度為滿量程的 1%。 

氫氟酸和負壓應(yīng)用

使用耐化學腐蝕的藍寶石壓力傳感器高精度、可靠地測量壓力

監(jiān)控過程條件可提高安全性和系統(tǒng)性能

發(fā)貨前經(jīng)過 100% 性能測試，精度為滿量程的 1%

易于連接到電子顯示/監(jiān)控系統(tǒng)

無活動部件，無填充液，因此無污染

流通式設(shè)計最大限度地減少死體積并降低污染風險

美國Entegris流通式壓力傳感器耐化學腐蝕 Entegris 4210/4250型 規(guī)格參數(shù)